試料保持具

摘要

試料保持具は、セラミックスからなり上面に試料保持面を有する基体と、金属からなり上面で基体の下面を覆う支持体とが、インジウムまたはインジウム合金からなる接合層を介して接合されており、接合層は、基体との接合面および支持体との接合面の少なくとも一方に接合層の厚み方向における中間領域よりもインジウム酸化物の含有率が高い層領域を有する。