| 摘要 |
(과제) 알칼리성을 나타내는 현상액의 알칼리 성분, 용해된 포토레지스트, 흡수된 이산화탄소 등의 각 성분의 농도를 현상액의 특성값으로부터 정밀도 좋게 산출하는 성분 농도 측정 방법 및 장치, 및 현상액의 현상성능을 최적인 상태로 유지 및 관리하는 관리 방법 및 장치를 제공한다. (해결 수단) 현상액의 성분 농도와 상관이 있는 현상액의 복수의 특성값이 측정부(1)에서 측정된다. 측정된 복수의 특성값은 연산부(2)로 보내져 다변량 해석법에 의해 현상액의 성분 농도가 산출된다. 또한, 측정된 특성값 또는 산출된 알칼리 성분 농도 중 어느 하나가 소정의 관리값이 되도록 측정된 특성값 또는 산출된 포토레지스트의 농도 중 어느 하나가 소정의 관리 범위 내가 되도록 및 측정된 특성값 또는 산출된 이산화탄소의 농도가 소정의 관리 범위 내가 되도록 현상액에 현상액 원액, 신액 또는 순수 등의 보충액을 보급하도록 제어부(3)에 의해 제어한다. |
