| 摘要 |
【課題】キャビティ部を有する基板のスクリーン印刷に用いられるマスクのクリーニングを十分に行うことができるマスククリーニング装置及びマスククリーニング方法を提供する。【解決手段】前方支持部２３により、ペーパー部材２１のうちクリーナ移動方向の前方側の部分（前方拭取部２３ｍ）を凸状部１２ａの下面に擦り付けてその凸状部１２ａの下面に付着したペーストＰｓｔを拭き取り、後方支持部２４により、ペーパー部材２１のうちクリーナ移動方向の後方側の部分（後方拭取部２４ｍ）を凸状部１２ａのエッジ１２ｇに擦り付けてそのエッジ１２ｇに付着したペーストＰｓｔを拭き取る。【選択図】図１０ |
