| 摘要 |
【課題】 膜厚分布を微調整可能であり、かつ製造条件の変更又は装置メンテナンスサイクル間の経時変化などに対し、膜厚分布を容易に調整することが可能な、蒸着装置及び蒸着方法を提供する。【解決手段】 複数の放出口１２が穿設された放出容器１０と被蒸着部材４との間に、放出容器に対して所定のギャップＥを設けて配置し、蒸気材料８を放出する開口部１３ａを有し、被蒸着部材への蒸着量分布を微調整する分布調整部材１３を用いた蒸着装置であって、寸法の大小関係が、蒸着有効寸法Ａ＜分布調整部材の開口部開口寸法Ｂ＜放出容器内部寸法Ｃであって、寸法Ｂより外側かつ寸法Ｃより内側の範囲に放出口を穿設した放出容器を用いる。【選択図】図１ |
