4 QUATERNARY AMMONIUM HYDROXIDES

摘要

본 발명은, 표면에서 잔류물을 제거하는 방법에 관한 것으로, (a) 본 명세서에 정의된 바와 같이, 일반식 (I)을 갖는 4차 수산화 암모늄과, (b) 실질적으로 물을 함유하지 않는 쌍극성 비양성자성 용매를 포함하는 조성물을 표면에 도포하는 단계와, 상기 잔류물의 적어도 실질적인 부분을 상기 표면으로부터 제거하는 단계를 포함한다.