研磨用組成物および研磨物製造方法

摘要

砥粒と水溶性ポリマーと水とを含む研磨用組成物が提供される。上記水溶性ポリマーは、所定の吸着比測定に基づく吸着比が５％未満であるポリマーＡと、該吸着比が５％以上９５％未満であるポリマーＢとを含む。ここで、上記ポリマーＢはヒドロキシエチルセルロース以外のポリマーから選択される。