拡散層を有する半導体基板の製造方法、太陽電池素子の製造方法及び太陽電池素子

摘要

【課題】複雑な工程を必要とせず簡便な方法で、ドナー拡散領域におけるシート抵抗値のバラつきを抑えることが可能な、拡散層を有する半導体基板の製造方法の提供。【解決手段】拡散層を有する半導体基板の製造方法は、半導体基板上の少なくとも一部に、ドナー元素を含むドナーガラス粒子及び分散媒を含有するｎ型拡散層形成組成物を付与する工程と、前記半導体基板上の前記ドナーガラス粒子を軟化する軟化工程と、前記半導体基板にｎ型拡散層を形成する熱処理工程と、をこの順に行い、前記軟化工程を、７００℃未満の雰囲気で行なう。【選択図】図１