| 摘要 |
【課題】 真空中で行われる酸化処理プロセス及び酸化力を利用した表面処理プロセスに用いて好適な高濃度のオゾンガスのビーム発生装置を提供すること。【解決手段】 酸素ガスから高濃度のオゾン含有ガスを生成するオゾン発生器（３）およびオゾン濃縮器（１８）と、真空槽（８）内に設けられた試料（９）の設置位置の近傍までこの高濃度のオゾン含有ガスを導くオゾン供給管（５）と、オゾン供給管内に導かれたオゾン含有ガスを試料に向かって噴出するオゾン噴出口（７）を備えるオゾンビーム生成装置であって、オゾン供給管とオゾン排出管内のオゾン含有ガスはオゾン保全流状態であると共に、オゾン濃度が９０％から１００％であって、残部が酸素ガス並びに不可避的不純物からなる。【選択図】図４ |
