| 摘要 |
노광 장치 (EX) 는, 투영 광학계 (PL) 와 액체 (LQ) 를 통해서 기판 (P) 상에 노광광 (EL) 을 조사하여 기판 (P) 을 노광한다. 노광 장치 (EX) 는 액체 (LQ) 를 공급함과 함께 액체 (LQ) 를 회수하는 액침 기구 (1) 를 구비한다. 액침 기구 (1) 는 기판 (P) 의 표면과 대향하고 또한 기판 (P) 의 표면에 대하여 경사진 경사면 (2) 을 갖고, 액침 기구의 액체 회수구 (22) 가 경사면 (2) 에 형성되어 있다. 또, 기판 (P) 과 투영 광학계 (PL) 사이에는 평탄부 (75) 를 갖는다. 액침 영역을 작게 유지할 수 있다. [색인어] 노광 장치, 액침, 노즐, 광학 부재, 플레이트 |
