| 主权项 |
用于铜基金属层的蚀刻剂组合物，其相对于所述组合物的总重量，包含，0.5重量％至10重量％的铜化合物；0.01重量％至2重量％的氟化合物；1重量％至10重量％的一种或多种类型无机酸，其选自由硝酸、硫酸、磷酸和高氯酸所组成的组；0.1重量％至10重量％的一种或多种类型氯化合物，其选自由盐酸、氯化钠、氯化钾、氯化铵、甲磺酰氯、乙磺酰氯、氯苯磺酰氯、苯磺酰氯和氯乙磺酰氯所组成的组；1重量％至10重量％的一种或多种类型有机酸，其选自由乙酸、丁酸、柠檬酸、甲酸、葡糖酸、乙醇酸、草酸、戊酸、磺基苯甲酸、磺基琥珀酸、磺基邻苯二甲酸、水杨酸、磺基水杨酸、苯甲酸、乳酸、甘油酸、苹果酸、酒石酸、异柠檬酸、丙酸、亚氨基二乙酸和乙二胺四乙酸所组成的组，或其盐；0.1重量％至10重量％的一种或多种类型非金属无机盐，其选自由硫酸铵、硫酸钠、硫酸钾、硫酸钙、硫酸氢铵、硫酸氢钠、硫酸氢钾、硫酸氢钙、硝酸铵、硝酸钠、硝酸钾和硝酸钙所组成的组；0.01重量％至5重量％的环胺化合物；0.5重量％至10重量％的螯合剂；和余量的水，其中，所述螯合剂是1)顺型二羧酸或其盐，2)选自由马来酸、柠康酸、邻苯二甲酸、1,2,4,5‑苯四羧酸、苯六甲酸、4‑磺基邻苯二甲酸、喹啉酸、顺‑5‑降冰片烯‑外‑2,3‑二羧酸、1,2,3,4‑环丁烷四羧酸和顺,顺,顺,顺‑1,2,3,4‑环戊烷四羧酸的一种或多种类型所组成的组，或其盐，或3)选自由丙二酸、琥珀酸和戊二酸所组成的组中的一种或多种类型，或其盐。 |
