发明名称 |
一种预对准机构和运动台装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种预对准机构和运动台装置,其中所述预对准机构包括:呈L型设置的2个基准定位单元和对应设置在每个所述基准定位单元对边的自适应夹紧单元;所述自适应夹紧单元包括:第一驱动装置和定位件,所述第一驱动装置包括:第一直线导轨、设置在所述第一直线导轨上的第一滑块及自适应压力装置,所述自适应压力装置与所述第一滑块连接,且具有可调节运动行程;所述定位件设置在所述第一滑块上。本实用新型通过自适应压力装置的自动化操作,代替了现有技术中手动调整操作,具有自动化程度高、降低劳动强度、节省工时、提高预对准工作效率的有益效果。 |
申请公布号 |
CN205920956U |
申请公布日期 |
2017.02.01 |
申请号 |
CN201620387262.2 |
申请日期 |
2016.04.29 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
梁德志;李 |
分类号 |
H01L21/68(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/68(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种预对准机构,其特征在于,包括:呈L型设置的2个基准定位单元和对应设置在每个所述基准定位单元对边的自适应夹紧单元;所述自适应夹紧单元包括:第一驱动装置和定位件,所述第一驱动装置包括:第一直线导轨、设置在所述第一直线导轨上的第一滑块及自适应压力装置,所述自适应压力装置与所述第一滑块连接,且具有可调节运动行程;所述定位件设置在所述第一滑块上。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张东路1525号 |