发明名称 SELF-ALIGNED BURIED CONTACT AND METHOD OF MAKING
摘要
申请公布号 GB2088626(A) 申请公布日期 1982.06.09
申请号 GB19810025280 申请日期 1980.05.22
申请人 MOSTEK CORP 发明人
分类号 H01L27/04;H01L21/283;H01L21/74;H01L21/762;H01L21/822;H01L27/108;H01L29/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/10;B44C1/22;H01G7/00;H01L23/48;H01L27/02;H01L27/12;H01L29/04;H01L29/34 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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