发明名称 反応器から多結晶質シリコンロッドを取り出す装置及び方法
摘要 A device for removing polycrystalline silicon rod pairs from a Siemens reactor has a body dimensioned to fit over a single rod pair. Once the rod pair is within the body, the body and enclosed rod pair is removed.
申请公布号 JP6072351(B2) 申请公布日期 2017.02.01
申请号 JP20160506832 申请日期 2014.03.20
申请人 ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフトWacker Chemie AG 发明人 トビアス、バイス;ウド、アルマーシ;シュテファン、フェルバー;ライナー、ペヒ
分类号 C01B33/035 主分类号 C01B33/035
代理机构 代理人
主权项
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