一种透明导电基板及其制备方法和有机电致发光器件

摘要

本发明公开了一种透明导电基板，包括透明基板，以及设置在所述透明基板某一表面的透明导电薄膜，所述透明导电薄膜的表面具有多个凹陷微纳结构，所述多个凹陷微纳结构通过湿法刻蚀形成。这些凹陷微纳结构对光具有强烈的散射作用，使得原来在透明导电薄膜与透明基板界面由于全反射而被局限的光部分透射出透明基板表面，从而降低波导模式的比例；本发明还提供了该透明导电基板的制备方法和包括该透明导电基板的有机电致发光器件及其制备方法。

主权项

一种用于有机电致发光器件的透明导电基板，包括透明基板，以及设置在所述透明基板某一表面的透明导电薄膜，其特征在于，所述透明导电薄膜的表面具有多个凹陷微纳结构，所述多个凹陷微纳结构通过湿法刻蚀形成，所述透明导电薄膜为AZO薄膜、GZO薄膜、FZO薄膜或FTO薄膜，所述透明导电薄膜呈多晶结构，c轴择优取向。