发明名称 一种超疏水的金字塔‑硅纳米线复合陷光结构及其制备方法
摘要 一种超疏水的金字塔‑硅纳米线复合陷光结构及其制备方法,属于太阳能电池领域。硅片表面的清洁,利用碱性刻蚀在其表面制备金字塔结构,利用化学反应还原原理在硅片表面沉积非连续的贵金属颗粒,利用贵金属颗粒作为催化剂刻蚀制备硅纳米线进而获得金字塔‑硅纳米线复合双结构,利用氟硅烷对复合结构表面进行化学修饰获得超疏水性能。在可见光范围内,其表面反射率降低到4%以下,且经过表面化学修饰后,表面接触角大于150°。
申请公布号 CN103500769B 申请公布日期 2017.02.01
申请号 CN201310412715.3 申请日期 2013.09.11
申请人 北京工业大学 发明人 王波;李青柳;严辉;张铭;王如志;宋雪梅;侯育冬;朱满康;刘晶冰;汪浩
分类号 H01L31/055(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 主分类号 H01L31/055(2014.01)I
代理机构 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人 张慧
主权项 太阳能电池表面金字塔‑硅纳米线复合结构的制备方法,其特征在于,包括以下几个步骤:(1)选取P型(100)硅片,首先对其表面进行清洗;(2)制备金字塔结构,实验过程为:将已经清洗处理过后的硅片放入NaOH、异丙醇的混合水溶液内40min,其中NaOH的浓度3.0%,异丙醇体积分数为5%,反应温度保持在85℃;(3)制备硅纳米线结构,实验过程为:首先将硅片浸泡在AgNO<sub>3</sub>和HF酸的混合溶液内,其中AgNO<sub>3</sub>的浓度为0.01mol/l,HF酸浓度为4.8mol/l,浸泡30s,获得的硅片表面的贵金属颗粒粒径在50nm‑120nm之间,相互之间不连续;将覆盖有不连续的贵金属颗粒的硅片浸泡在HF和H<sub>2</sub>O<sub>2</sub>的混合溶液内,其中HF酸浓度为4.8mol/l,H<sub>2</sub>O<sub>2</sub>浓度为0.1mol/L,浸泡1min;经过以上实验后,在金字塔表面获得直径范围在50‑150nm之间,长度在2μm的硅纳米线;在300‑1100nm的入射光范围内,测得其反射率,在可见光范围内可保持在4%以下;(4)最后将获得的具有金字塔‑硅纳米线复合陷光结构浸泡在氟硅烷溶液内浸泡6h,取出后在120℃下烘干后自然冷却到室温,得到具有超疏水性的金字塔‑纳米线复合结构;接触角在150°以上,滚动角在3℃以下。
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