| 发明名称 |
TRANSPORT AND HANDING-OVER ARRANGEMENT FOR DISC-SHAPED SUBSTRATES VACUUM TREATMENT INSTALLATION AND METHOD FOR MANUFACTURE TREATED SUBSTRATES |
| 摘要 |
디스크형 기판들을 위한 이송 및 인도 장치는 캐리어(3) 및 인수 장치(15)를 포함한다. 이 둘은 서로에 대해 상대적으로 이동 가능하다. 자화성 물질의 비교적 무거운 기판 캐리어(7)가 인수 장치(15)에서 영구 자석(17)의 거리 제어에 의해 인수 장치(15)로 인수되거나 그로부터 캐리어(3)로 복귀된다. 인수 장치(15)에서 영구 자석(17)의 제어적 구동은 공기압 피스톤/실린더 장치(19)에 의해 수행된다. |
| 申请公布号 |
KR20170010450(A) |
申请公布日期 |
2017.01.31 |
| 申请号 |
KR20177001711 |
申请日期 |
2013.05.30 |
| 申请人 |
에바텍 어드벤스드 테크놀로지스 아크티엔게젤샤프트 |
发明人 |
보저, 슈테판;게흐터, 브루노;마테아치, 피에르 |
| 分类号 |
H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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