| 摘要 |
본 발명은 진공펌프용 유로배관 상에 장착되어서 유로배관을 개폐하는 진공펌프용 유로배관의 개폐장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 개폐를 위한 동력원으로 유로배관의 압력을 이용하여 동력수단을 별도로 구비해야 하는 비용과 공간확보의 부담이 없는 진공펌프용 유로배관 개폐장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 진공펌프용 유로배관 개폐장치는 진공펌프용 유로배관 상에 연결되도록 양측으로 각각 형성되는 입구와 출구, 내부에서 유로방향을 2단으로 수직변환하면서 상기 입구와 출구를 연결하는 유로변환공과, 상기 유로변환공을 마주보는 면에 구비되는 장착부를 포함하는 본체; 상기 장착부에 장착되는 바디와, 상기 바디에서 인출입하는 피스톤로드와, 상기 피스톤로드에 결합되어서, 피스톤로드의 인출입에 따라 전후진하여 상기 유로변환공을 개폐하는 개폐구를 포함하는 실린더; 상기 진공펌프의 구동에 의해 상기 본체 내부를 흐르는 기체의 흐름에 따른 흡입력을 이용해 상기 바디 내부의 공기를 상기 본체 내부로 배기시켜서 상기 피스톤로드의 인출입을 제어하는 개폐제어모듈;을 포함한다. |
