| 摘要 |
본 발명은 가스 감지 장치에 관한 것으로, 베이스 기판; 상기 베이스 기판 상에 구비되고 가스를 감지하는 표면탄성파(SAW, surface acoustic wave) 센서를 각각 구비하고 서로 적층되는 다수의 센서층; 상기 표면탄성파 센서를 온/오프(on/off)되도록 제어하는 스위치; 상기 다수의 센서층 중 적어도 하나를 관통하여 상기 베이스 기판까지 연장 형성되어 상기 표면탄성파 센서에 전원을 공급하는 다수의 전극; 및 상기 스위치를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 다수의 센서층은 상기 다수의 전극에 의해 서로 이격 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 감지 장치가 제공된다. |
