发明名称 SONDE POUR MICROSCOPIE A FORCE ATOMIQUE A FAIBLE ENCOMBREMENT ET MICROSCOPE A FORCE ATOMIQUE COMPRENANT UNE TELLE SONDE
摘要 Sonde pour microscopie à force atomique comprenant une pointe pour microscopie à force atomique (PT1) orientée dans une direction dite longitudinale (y) et faisant saillie d'un bord (B) d'un substrat (S1) dans ladite direction longitudinale, caractérisée en ce que ladite pointe est agencée à une extrémité d'une navette (PJ1) fixée audit substrat au moins par l'intermédiaire d'une première (ET) et d'une deuxième (R, RA) structure, dites de support, au moins ladite première structure de support étant une structure flexible, s'étendant dans une direction dite transversale (x), perpendiculaire à la dite direction longitudinale et ancrée au substrat par au moins une liaison mécanique dans ladite direction transversale, lesdites structures de support étant adaptées pour permettre à la navette de se déplacer dans la direction longitudinale. Microscope à force atomique comprenant au moins une telle sonde.
申请公布号 FR3039280(A1) 申请公布日期 2017.01.27
申请号 FR20150056945 申请日期 2015.07.22
申请人 VMICRO S.A.S;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE 发明人 WALTER BENJAMIN;FAUCHER MARC
分类号 G01Q60/24;G01Q60/32 主分类号 G01Q60/24
代理机构 代理人
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