ＭＥＭＳデバイス

摘要

ＭＥＭＳデバイスは、可動部と、フレームと、ビームと、電極基板とを備えている。フレームは可動部の周囲を囲んでいる。ビームは、フレームの少なくとも一部から延伸され、可動部に接続されている。電極基板は、固定電極と、拡張電極と、基板部とを有している。固定電極は、電極基板の、揺動部と対向する領域の少なくとも一部に形成されている。拡張電極は、固定電極と接続されており、かつ電極基板の、軸部と対向する領域の少なくとも一部に形成されている。