| 摘要 |
【課題】ワイヤープローブの先端部を特殊な形状としなくても従来よりもワイヤープローブの最小ピッチを小さくすることができ、かつ、ワイヤープローブの本数を限定せずにワイヤープローブの最小ピッチを小さくすることができるワイヤープローブの保持構造を提供する。【解決手段】ワイヤープローブ用治具１０は、ワイヤープローブ３０の後端部３０ｂを保持するベース部１１を備える。前記ベース部１１の挿通孔１２は、前記電極基板４０に臨む大径部１２ａと、前記大径部１２ａに連続する小径部１２ｂと、を備え、前記大径部１２ａと前記小径部１２ｂとの間に段部１２ｃが形成されている。前記ワイヤープローブ３０は、前記大径部１２ａに内装されて前記小径部１２ｂよりも大径に形成されたリング状の係止部３３を備える。【選択図】図３ |
