| 摘要 |
【課題】優れた温度特性を有する物理量センサーを提供すること、および、この物理量センサーを備える電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】本発明の物理量センサー１は、第１固定電極部２１３ａに対向している部分を有する第１可動電極部３２２ａ、および、第２固定電極部２１３ｂに対向している部分を有する第２可動電極部３２２ｂを有し、平面視で第１固定電極側固定部２１ａ、第２固定電極側固定部２１ｂ、第１可動電極側固定部３１ａおよび第２可動電極側固定部３１ｂを囲む形状をなしている可動質量部３２を備える。【選択図】図１ |
