摘要 |
搬送装置は、ヘッド本体と、このヘッド本体に装着される把持具本体と接離可能な第1把持爪および第2把持爪とを含み、作動圧の供給を受けて作動する把持具と、前記把持具に対して作動圧を供給する圧力供給機構と、を含む。把持具本体は、前記圧力通路に連通するシリンダと、このシリンダの内部を大気開放するためのリーク通路とを備える。第1把持爪は、シリンダ内に収容されるピストン部を含み、シリンダに供給される作動圧を受けることで第2把持爪に接近する方向に変位するとともに、両把持爪の間隔が被搬送物を把持する第1間隔よりも狭い第2間隔となる状態まで変位可能なように最大変位量が設定される。ピストン部は、両把持爪の間隔が第2間隔になった状態でのみ、リーク通路とシリンダとを連通させてシリンダ内の圧力を大気圧にリークさせる通路開閉部を備える。 |