| 摘要 |
【課題】高出力のレーザ光によっても孔を精度良く形成することが可能な孔形成方法、並びに、当該孔形成方法によりインク吐出用のノズルが形成されたインクジェットヘッドおよびインクジェット装置を提供する。【解決手段】孔形成方法は、パルスレーザ光の照射位置を螺旋状の走査経路Ｔ１、Ｔ２上において変化させるステップと、各照射位置においてターゲットにパルスレーザ光を照射するステップと、を備える。走査経路Ｔ１、Ｔ２上における照射位置の間隔ΔＬおよび走査経路のピッチΔＲの両方もしくは何れか一方が、少なくとも螺旋の中心から所定の範囲において、径方向の位置が螺旋の中心に近づくに伴い大きくなるように設定されている。【選択図】図３ |
