一种多频响应太赫兹波调制器

摘要

本发明公开了一种多频响应太赫兹波调制器，包括太赫兹波可以透射的半导体衬底、两种以上尺寸规格的超材料谐振单元和金属钛薄膜层，所述超材料谐振单元设置在半导体衬底上，金属钛薄膜层设置在超材料谐振单元和半导体衬底上；同一种尺寸规格的所有超材料谐振单元以一种周期阵列方式布置在衬底上，不同尺寸规格的超材料谐振单元交错布置，且不同超材料谐振单元之间彼此存在间隙。本发明提供的多频响应太赫兹波调制器，在一块衬底上集成了两个或多个频率的太赫兹波调制器，可以根据需要对两种或多种不同频率的太赫兹波进行调制，这样就有利于降低使用成本，因此具有更好的实用性和便利性。

主权项

一种多频响应太赫兹波调制器，其特征在于：包括太赫兹波可以投射的半导体衬底(1)、两种以上尺寸规格的超材料谐振单元(2)和金属钛薄膜层(3)，所述超材料谐振单元(2)设置在半导体衬底(1)上，金属钛薄膜层(3)设置在超材料谐振单元(2)和半导体衬底(1)上；同一种尺寸规格的所有超材料谐振单元(2)以一种周期阵列方式布置在半导体衬底(1)上，不同尺寸规格的超材料谐振单元(2)交错布置，且不同超材料谐振单元(2)之间彼此存在间隙；所述超材料谐振单元(2)的制备材料为金。