一种应用于热处理设备晶圆传输调度的装置及方法

摘要

本发明提供了一种应用于热处理设备晶圆传输调度的方法，其包括：生成工艺过程所需的晶圆序列映射；根据热处理设备各模块的状态，在优先保证本次任务调度的及时响应的前提下，生成模块优先使用的次序序列；根据所述的模块优先使用的次序序列，仓储机械手模块执行将所述晶圆承载器从缓冲仓储模块传输到内部装载台模块，并且，根据晶圆序列映射，进行晶圆从源晶圆承载器至晶舟晶圆载体模块的装载；晶圆完成工艺后，晶圆机械手模块将晶圆返回至源晶圆承载器。因此，本发明采用了实时软件系统开发控制软件，保证信号传输的实时调度处理并提高了设备控制系统的可靠性。

主权项

一种应用于热处理设备晶圆传输调度的装置，所述热处理设备包括外部装载台模块、缓冲仓储模块、仓储机械手模块、晶圆机械手模块、内部装载台模块和晶舟晶圆载体模块；其特征在于，还包括信息存储模块和控制晶圆传输路径的调度模块；所述信息存储模块用于存储工艺过程所需的晶圆序列映射表和所述热处理设备各模块下属的所有晶圆承载器信息、以及各晶圆承载器内的所有晶圆信息的记录文件；所述调度模块根据所述模块优先使用的次序序列，控制所述仓储机械手模块执行将所述晶圆承载器从缓冲仓储模块传输到所述内部装载台模块，且根据所述的晶圆序列映射，进行晶圆从源晶圆承载器至晶舟晶圆载体模块的装载以及将晶圆返回至源晶圆承载器。