| 摘要 |
피흡착물을 전기적으로 흡착하여 사용하는 정전 흡착 구조체로서, 사용시에는 강고한 일체 구조가 유지되고, 사용 후에는 구조체의 구성을 자유롭게 변경할 수 있는 정전 흡착 구조체, 및 그 제조방법을 제공한다. 2개의 유전체 사이에 전극이 끼인 복수의 시트부재와, 적어도 1개의 흡착 전원을 가지며, 복수의 시트부재를 적층하고, 흡착 전원에 의해 대향하는 시트부재의 전극 사이에 전압을 인가함으로써, 대향하는 시트부재 사이를 전기적으로 흡착 고정시키는 동시에, 표면 최외층 또는 이면 최외층에 해당하는 시트부재 중, 어느 한쪽 또는 양쪽의 최외층 시트부재의 유전체에 피흡착물을 흡착시켜서 사용하고, 사용 후에는 전압의 인가를 해제하면, 적층한 시트부재가 서로 분리 가능하고, 또한 고정 수단에 의해 복수의 시트부재를 서로 위치 결정하면서 적층함으로써 확실하고도 간편하게 이러한 정전 흡착 구조체가 얻어진다. |
