发明名称 Scrubber for treating waste gas
摘要 본 발명은 상하부로 개방되는 통 형상으로 형성되며, 배기 가스가 연소되어 반응하는 챔버 연소 영역을 형성하는 내부 챔버 하우징과, 상하부로 개방되는 통 형상으로 형성되고 내면이 상기 내부 챔버 하우징의 외면과 이격되는 외부 챔버 하우징 및 상기 내부 챔버 하우징의 상부에 결합되며, 상기 내부 챔버 하우징의 내측으로 차단 가스를 분사하는 커버 분사 링을 구비하는 반응 챔버 및 상기 반응 챔버의 상부에 결합되며, 배기 가스를 연소시켜 상기 챔버 연소 영역으로 유출하는 버너부를 포함하는 배기 가스 처리용 스크러버를 개시한다.
申请公布号 KR101696843(B1) 申请公布日期 2017.01.24
申请号 KR20150053203 申请日期 2015.04.15
申请人 씨에스케이(주) 发明人 김형극;이상준
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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