| 摘要 |
베이스 표면이 데카르트 좌표계 (x, y, z) 의 x-y 평면에 평행하여 정렬되는 기판을 포함하는 미소기계식 회전 속도 센서로서, 상기 회전 속도 센서는 적어도 하나의 구동 장치 (14) 에 연결되어 매달려진 제 1 진동 매스 (1) 및 제 2 진동 매스 (2) 를 포함하고, 상기 제 1 진동 매스 및 제 2 진동 매스 (2) 가 일 구동 모드에서 역위상으로 편향되도록 구동되고, 상기 회전 속도 센서는 적어도 2 개의 상호 본질적으로 직각인 감도축 (z, y) 에 대한 회전 속도를 감지할 수 있도록 설계되고, 적어도 제 2 진동 매스 (2) 는 x-y 평면상의 위치에 관하여 제 1 진동 매스 (1) 를 적어도 부분적으로 둘러싸는 프레임의 형태로 존재한다. |
