| 摘要 |
홀의 상면 형상을 고르게 하여 선조흔을 없애고, 밑바닥 형상에 일그러짐이 없고, 또한, 보잉 형상의 발생을 방지하여 양호한 수직 가공 형상의 홀을 처리 대상층에 형성할 수 있는 기판 처리 방법을 제공한다. 처리 가스로서 CF가스, CHF가스 및 CF가스를 함유하는 혼합 가스를 이용하여, 처리압력 100mTorr(1.33×10Pa)∼150mTorr(2.0×10Pa)로 중간층으로서의 BARC막(53)을 에칭하고, 이어서, 처리 가스로서 COS가스 함유 가스를 이용하여 하층 레지스트층으로서의 ACL(52)을 에칭하고, 그 후, 처리 가스로서 CF가스 함유 가스를 이용하여 처리 대상층으로서의 산화막(51)을 에칭한다. |
