| 摘要 |
本発明の実施例は、ウェハがローディングされると、ウェハを吸着して、吸着されたウェハを一定速度で回転させるチャックテーブルと、チャックテーブルの上部に所定間隔離隔して配置され、回転及び下降してチャックテーブルに吸着されたウェハを研削するスピンドルと、を含み、スピンドルは、所定の速度で回転しながらウェハに接触するように一定距離下降させる駆動ユニットと、駆動ユニットの下端に形成され、ウェハを所定の厚さ研削する研削ホイールからなる。研削ホイールは、研削本体と、研削本体下部の円周に沿ってセグメント状に形成された研削砥石からなり、研削砥石が回転することによりウェハを離脱する地点からウェハと再接触する地点の間には、研削砥石の回転経路に沿って冷却ユニットが設けられ、冷却ユニットは、回転する研削砥石に対して冷却水を噴射して研削ホイールの温度を減少させることを特徴とする。【選択図】図２ |
