| 摘要 |
【課題】プロピレングリコールモノメチルエーテルを主成分とする溶剤に対する溶解性に優れたレジスト下層膜形成組成物を提供する。【解決手段】下記式（１ａ）又は式（１ｃ）で表される構造単位、及び下記式（１ｂ）で表される構造単位を有するポリマーと、プロピレングリコールモノメチルエーテルを５０質量％を超えて含有する溶剤とを含み、前記式（１ａ）又は式（１ｃ）で表される構造単位と式（１ｂ）で表される構造単位とは交互に配列してなる、レジスト下層膜形成組成物。【化１】（式（１ａ）及び式（１ｂ）中、Ｑはフェニレン基又はナフチレン基を表し、ｍは１又は２を表し、ｎはそれぞれ独立に０又は１を表す。）【選択図】なし |
