研磨用組成物

摘要

【課題】研磨レートと表面平坦性との両立がより高いレベルで実現され得る研磨用組成物を提供する。【解決手段】１５００Ｈｖ以上のビッカース硬度を有する材料を研磨するための研磨用組成物が提供される。この研磨用組成物は、平均二次粒子径Ｄ２ｆを有する第１アルミナ砥粒と、第１アルミナ砥粒よりも小さい平均二次粒子径Ｄ２ｓを有する第２アルミナ砥粒とを含む。【選択図】なし