| 摘要 |
【課題】 高感度のセンシングを再現性良く安定して行えるセンサチップ及びそのようなセンサチップを高い信頼性で製造できる製造方法を提供する。【解決手段】 基板１上にフォトリソグラフィにより誘電体製のベース３が形成され、ベース３に対して金属膜９４を作成することで多数の突起部２２を有する金属製微細構造物２が形成される。微細構造物２の表面にはバインダ８１によりリガンドとしての抗体８２が固定され、試料流体Ｓ中の目的物質としての抗原８３は抗体８２により捕捉される。微細構造物２において発生する局在型表面プラズモン共鳴の発生波長のシフトの有無により、抗原８３の有無が判断される。各突起部２２の離間距離は、各突起部２２からの回折光の干渉の影響が排除できる程度に不均等なものとされている。【選択図】 図５ |
