| 摘要 |
【課題】形状測定装置の原点校正を高精度におこなうための原点ゲージを提供する。【解決手段】原点ゲージ３００は、台座部３１０と、台座部３１０の上方に配設された第１基準球１００および第２基準球２００と有する。台座部３１０は円板形状であって、台座部３１０の中心軸上に第１基準球１００の中心がある。第２基準球２００の中心は台座部３１０の中心軸からずれた位置にある。第１基準球１００の中心点と第２基準球２００の中心点との相対位置関係が既知である。プローブ１４を外径測定姿勢にして第１基準球１００を測定した結果に基づいて外径測定姿勢の原点を校正する。プローブを内径測定姿勢にして第２基準球２００を測定した結果に基づいて内径測定姿勢の原点を校正する。【選択図】図９ |
