| 摘要 |
【課題】載置台からのフォーカスリングの剥離性を向上すること。【解決手段】プラズマ処理装置は、被処理基板を収容する減圧された収容室と、該収容室内に配置されて被処理基板を載置する冷却機構を内蔵した載置台と、被処理基板の周縁部を囲うように載置台に載置される環状のフォーカスリングとを備える。プラズマ処理装置は、載置台とフォーカスリングとの間に、熱伝導性シリコーンシートを配置している。熱伝導性シリコーンシートは、ポリオルガノシロキサン１００重量部に対して熱伝導性粒子を１００〜２０００重量部含む熱伝導性シリコーンシートである。熱伝導性シリコーンシートは、固化層と、固化層の両面に貼り付けられた粘着層とを有する。粘着層と載置台との界面、及び粘着層とフォーカスリングとの界面の夫々において、接着状態が保持され、粘着層と固化層との界面において、粘着状態が保持される。【選択図】図３ |
