| 摘要 |
【課題】電極インピーダンスの変化を抑制し、インピーダンス整合を良好におこなうことにより、小型、安価で高品質な加熱や解凍可能な半導体式高周波誘電加熱装置を提供すること。【解決手段】半導体式高周波電源２０と、対向して配置された一対の電極３０と、インピーダンス整合器４０からなる半導体式高周波誘電加熱装置１０であって、整合器４０は、高周波電源２０と並列に接続された第１コンデンサＣ１と、電極３０と並列に接続された第３コンデンサＣ３と、第１コンデンサＣ１と第３コンデンサＣ３の間に直列に接続されたコイルＬおよび第２コンデンサＣ２とを備える半導体式高周波誘電加熱装置１０。【選択図】図１ |
