| 摘要 |
【課題】簡便な構成でオゾン爆発を防止する。【解決手段】光処理装置は、紫外線を発する光源部と、被処理物体が、酸素を含む処理気体の雰囲気中で光源部から発せられた前記紫外線に曝される紫外線処理領域を有する処理部と、紫外線処理領域に酸素を含む処理気体を供給する給気部と、紫外線処理領域から処理気体を排出する排気部と、を備える。給気部は、紫外線処理領域に連通し、当該紫外線処理領域に処理気体を供給する給気路を備え、給気路は、紫外線処理領域に供給する前に処理気体を加熱する加熱空間を備える。【選択図】 図１ |
