| 摘要 |
【課題】複数の種結晶基板を並べて形成した種結晶基板上に結晶成長を行うＩＩＩ族窒化物基板の作製に関し、新規な技術を提供する。【解決手段】ＩＩＩ族窒化物基板の製造方法は、側面同士を対向させて並べられるような形状に成形された複数の種結晶基板を用意する工程と、隣り合う前記種結晶基板の側面同士が対向して並んだ配置となるように、複数の種結晶基板を、基材上に配置する工程と、複数の種結晶基板の主面上方に、各々の主面上方に成長した結晶同士が結合して一体化するように、ＩＩＩ族窒化物結晶を成長させる工程と、を有し、複数の種結晶基板を基材上に配置する工程では、複数の種結晶基板が、円板状に組み合わされて配置される。【選択図】図１ |
