| 摘要 |
【課題】対象物に堆積した堆積物を効率よく除去する。【解決手段】本発明に係る堆積物の除去装置は、堆積物が堆積した対象物に対してパージガスを噴出するパージ用ノズルヘッダを備え、対象物とパージ用ノズルヘッダとを相対的に移動させながら、パージ用ノズルヘッダからパージガスを噴出することで、対象物の一端から他端までの堆積物をパージガスにより吹き飛ばして除去するものである。パージ用ノズルヘッダは、スリットを有する内筒と、内筒のスリットとは異なるスリットを有する外筒とを備えた二重管構造を有し、内筒および外筒の少なくとも一方を回転させることで、内筒のスリットと外筒のスリットとが相対的に移動し、内筒のスリットと外筒のスリットが一致したところからパージガスが噴出される。【選択図】図５ |
