| 摘要 |
【課題】センサチップの検出精度が低下するのを抑制する圧力センサを提供する。【解決手段】圧力センサ１０は、周囲温度よりも高い温度の測定媒体の圧力を検出し、ケース２０とセンサチップ７０とを備えている。ケース２０には、両端が開口し、一端３８ａ側の開口から測定媒体が導入される媒体導入孔３８が形成されている。センサチップ７０は、媒体導入孔３８における一端３８ａと反対の他端３８ｂ側の開口を閉塞している。一端３８ａと他端３８ｂとを結ぶ方向は、センサチップ７０の厚さ方向と異なる方向とされている。ケース２０の外面には、第１溝部４４及び第２溝部４６が形成されている。センサチップ７０の厚さ方向の投影視において、センサチップ７０に対して一端３８ａ側に第１溝部４４が形成され、センサチップ７０に対して第１溝部４４と反対側に第２溝部４６が形成されている。第１溝部４４は、第２溝部４６よりも壁面の表面積が大きい。【選択図】図２ |
