ワイヤソー装置およびスライス方法

摘要

【課題】 ワイヤに加工液が均一に供給されてスライス不良を低減できるワイヤソー装置を提供する。【解決手段】 ワイヤソー装置は、複数列に平面状に張られたワイヤと、該ワイヤの上方に配置されて、該ワイヤに供給する加工液が出る１以上の開口部を有するノズルと、前記ワイヤと前記ノズルの前記開口部との間に配置されて、前記ノズルの前記開口部から出た前記加工液を通過させる孔部を複数有する第１整流部材とを備えている。【選択図】 図１