圧電駆動装置及びロボット

摘要

【課題】圧電駆動装置が被駆動部材を駆動する駆動特性の変動を抑制する。【解決手段】発明の圧電駆動装置は、被駆動部材を駆動する複数の圧電振動部を備え、複数の圧電振動部のそれぞれの共振周波数のうち、最大の共振周波数と最小の共振周波数との差は、複数の圧電振動部の平均共振周波数の０．００１％以上５％以下の範囲内である。【選択図】図５