| 摘要 |
【課題】検査精度の向上を図ることのできる半田印刷検査装置及び基板製造システムを提供する。【解決手段】半田印刷検査装置は、基板計測装置から、プリント基板１上のパッド３の絶対高さＰｋ、並びに、各レジスト計測点におけるレジスト８の絶対高さＲｋ１及びこれに関連付けて記憶された座標位置情報を取得する。続いて、半田印刷検査装置は、プリント基板１上のクリーム半田４の絶対高さＨｋと、前記座標位置情報に対応する各レジスト計測点におけるレジスト８の絶対高さＲｋ２を計測する。そして、これらの計測結果と、基板計測装置から取得したパッド３の絶対高さＰｋ等とを基に、パッド３に対するクリーム半田４の高さＨｐを算出し、当該クリーム半田４の印刷状態の良否判定を行う。【選択図】 図６ |
