| 摘要 |
【課題】第１ヘッドから第２ヘッドへ受け渡される部品の位置ずれを抑制する。【解決手段】ウエハＷからベアチップを取出して基板Ｐ上に搭載する部品実装装置。部品実装装置は、ベアチップをウエハシートの下側から突き上げる突き上げ装置９と、突き上げ装置９により突き上げられたベアチップを取り出すウエハヘッド８０ａと、ウエハヘッド８０ａが取り出したベアチップを、中継ステージ８２を介して受け取って基板Ｐ上に搭載する実装用ヘッド１２ａと、ウエハシートのうちベアチップが取り出された位置を撮像する移動カメラ５０と、突き上げ装置９及びウエハヘッド８０ａを制御する制御装置７０とを含む。制御装置７０は、移動カメラ５０が撮像した画像に基づき、突き上げ痕の位置ずれ量を求め、このずれ量に基づき、後続チップを取り出す際の突き上げ装置９による突き上げ位置およびウエハヘッド８０ａによるベアチップの取り出し位置を補正する。【選択図】図１３ |
