| 摘要 |
【課題】 複数画像のスティッチング処理において、重複領域内に十分な画素値の変化がない場合、位置合わせの精度が低下する。【解決手段】 被検査物上で第１の方向にレーザを走査させる第１の走査手段と、第１の方向に直交する第２の方向にレーザを走査させる第２の走査手段と、第１の撮影領域、及び、第１の撮影領域に第２の方向に隣接する第２の撮影領域を設定する手段と、第１の撮影領域を撮影する第１の撮影と、第１と第２の撮影領域とを合わせた領域に対して第２の走査手段を連続的に制御させる第２の撮影と、第２の撮影領域を撮影する第３の撮影を実行する撮影手順を決める手段と、撮影手順に従って第１と第２の走査手段を制御する制御手段と、制御手段の制御により走査されたレーザに基づき、第１の撮影で第１の画像、第２の撮影で第２の画像、及び、前記第３の撮影で第３の画像を取得する取得手段とを備える。【選択図】 図３ |
