一种基板承载装置及高温炉设备

摘要

本实用新型提供了一种基板承载装置，包括支撑支架，支撑滚珠以及间隙滚珠，所述支撑支架的顶部形成与支撑滚珠配合的滚珠托盘，间隙滚珠设置于滚珠托盘内支撑所述支撑滚珠，所述支撑滚珠的顶部进行支撑；本实用新型还提供了一种高温炉设备，用于对基板进行加热，包括上述的基板承载装置。本实用新型提供的基板承载装置，不仅满足了其与基板进行小面积接触的需求，而且有效地避免了其与基板进行滑动摩擦而产生划痕，保证了基板的安全性；本实用新型提供的高温炉设备，在保证基板正反两面受热均匀的同时，还改善了基板在加热时被划伤的状况。

主权项

一种基板承载装置，其特征在于，包括支撑支架，支撑滚珠以及间隙滚珠，所述支撑支架的顶部形成滚珠托盘，所述滚珠托盘开设有凹槽，所述支撑滚珠与间隙滚珠收容于所述凹槽内，所述间隙滚珠设置于滚珠托盘内用以支撑所述支撑滚珠，所述支撑滚珠的顶部用以支撑基板。