DEPOSITING APPARATUS AND METHOD FOR LEADING-IN AND DRAWING OUT PRODUCT WITH RESPECT TO DEPOSITING APPARATUS

摘要

증착장치가 개시된다. 개시된 증착장치는 캐리어가 인입되는 제1 로드락 챔버모듈; 상기 제1 로드락 챔버모듈과 선택적으로 연통 가능한 프로세스 챔버모듈; 및 상기 프로세스 챔버모듈과 선택적으로 연통 가능하며, 상기 캐리어가 인출되는 제2 로드락 챔버모듈;을 포함하며, 상기 제1 로드락 챔버모듈 또는 상기 제2 로드락 챔버모듈은 상기 프로세스 챔버모듈에 인접하게 연결될수록 순차적으로 높은 진공도를 갖는 적어도 3 이상의 챔버로 이루어진다.