双重检测生物传感芯片及其制备方法和DNA检测方法

摘要

本发明提供一种双重检测生物传感芯片，包括衬底，以及设置于衬底上三电极体系，三电极体系包括生物传感电极、辅助电极和参比电极，所述生物传感电极为纳米金电极，纳米金电极包括设置于衬底上的透明导电基底，该透明导电基底表面上设有若干规则排布的纳米金颗粒。本发明的双重检测生物传感芯片，将三电极体系中的工作电极采用纳米金电极，纳米金颗粒的电极结构能进行局域表面等离子的光学生物检测；而透明导电基底本身也是N型半导体，实现电化学生物检测的同时，其透明特性也不会影响光学检测的进行。

主权项

一种双重检测生物传感芯片，包括衬底，以及设置于所述衬底上三电极体系，所述三电极体系包括生物传感电极、辅助电极和参比电极，其特征在于，所述生物传感电极为纳米金电极，所述纳米金电极包括设置于所述衬底上的透明导电基底，该透明导电基底表面上设有若干规则排布的纳米金颗粒；所述纳米金电极按照如下方法制备获得：获取透明导电基底；在所述透明导电基底表面形成抗蚀层；获取压印板，该压印板的压印面具有纳米级尺寸的凸模型；将所述压印板与设有抗蚀层的透明导电基底压合，使抗蚀层表面形成与凸模型适配的凹槽；在所述抗蚀层的非凹槽表面形成保护层；将具有所述保护层和抗蚀层的透明导电基底进行等离子刻蚀处理，使位于凹槽部分的抗蚀层被刻蚀去除以及位于凹槽部的透明导电基底表面裸露；在所述位于凹槽部的透明导电基底的裸露表面上生成Au膜；除去所述透明导电基底残留的抗蚀层。