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실시예에 따른 탄화규소 에피 웨이퍼는 탄화규소 웨이퍼, 상기 탄화규소 웨이퍼 표면 상에 배치되는 버퍼층 및 상기 버퍼층 상에 배치되는 탄화규소 에피 웨이퍼를 포함하고, 상기 버퍼층은 탄소와 규소의 비율이 서로 대응되거나, 탄소보다 규소가 큰 비율이다. 실시예에 따른 탄화규소 에피 웨이퍼의 제조 방법은 반응로 내에 탄화규소 웨이퍼를 준비하는 단계, 상기 탄화규소 웨이퍼를 표면 처리하는 단계, 상기 탄화규소 웨이퍼 상에 버퍼층을 형성하는 단계 및 상기 버퍼층 상에 탄화규소 에피 웨이퍼를 에피텍셜 성장시키는 단계를 포함하고, 상기 버퍼층은 탄소와 규소의 비율이 서로 대응되거나, 탄소보다 규소가 큰 비율이다. |
